真空炉呈现温度过高的故障应依照下面的过程进行处理。首要查看地点作业区温控器参数是否正常，参阅其他正常运用中的温控器校正一切参数。依据电路图查看相应作业区的固态继电器输出端是否被击穿，具本办法：停电后，用万用表电阻档丈量固态继电器输出端两点之间的电阻，正常时，电阻会有几兆欧以上，假如被击穿，则几乎没有电阻，有必要按同类型换上新的。
在通电开机的状况下，用手轻摇相应作业区内的热电偶探头，看看所对应的温控器显现是否跳动起伏很大，假如有此现象，则阐明热电偶探头接触不良，需替换新的。
首要查看地点作业区温控器的参数是否正常，是否有输出信号。查看所对应作业区的热电偶是否受损，为了验正这些热电偶是否杰出，可将它们跟正常温控器上的热电偶交换接到温控器上，调查温度显现状况。
假如确实是热电偶损坏，有必要替换。假如温控器、热电偶都没问题，则需求检验发热管是否正常通电作业。办法：通电开机后，发动加热，依据电路图，直接用试电笔测验对应作业区的发热管衔接的导线（在固态的输出端上白色高温线便是），看是否有电到。
